隔膜真空泵是一种利用隔膜往复运动改变泵腔容积,实现气体吸入和排出的干式真空泵。其核心优势在于无油污染、耐腐蚀、低噪音、结构简单且寿命长,广泛应用于对真空环境洁净度和稳定性要求较高的场景。
隔膜真空泵的泵体由一个气缸组成,隔膜在气缸内上下运动,将压缩腔室与驱动装置隔离,进气阀和排气阀均为压力控制阀。隔膜通过联杆与曲轴相连,真空泵运行时,在电机的驱动下,曲轴旋转并带动隔膜往复运动。当隔膜下移时,压缩腔室容积扩大,压力降低,气体从进气口进入泵内;当隔膜上移时,腔室容积减小,气体被压缩并通过排气阀排出。
结构:
无油运行:隔膜真空泵运行时无需润滑油,不会产生油蒸气、碳氢化合物或颗粒物,能提供洁净的真空环境,避免了对被抽气体和工作环境的污染。
气密式密封:隔膜将压缩腔室与驱动装置完*隔离,形成气密式密封,防止腐蚀性气体或液体进入驱动部分,保护机械部件不受侵蚀。
低振动和噪声:隔膜的运动较为平稳,产生的振动和噪声较低,适合在对噪声敏感的环境中使用。
多种隔膜材质:根据不同的应用需求,隔膜可采用橡胶、塑料或金属等材质。橡胶隔膜成本较低,具有一定的耐腐蚀性;金属隔膜则更耐用,抗腐蚀性强,适用于恶劣的工作环境。